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     EDWA*** EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwa*** EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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维修爱德华Edwa*** nEXT200200D质谱分析设备泵***

   广州潽拓—Edwa*** EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至低。Edwa***爱德华nEXT200200D分子泵维修，Edwa*** nEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100，出气法兰口KF25，抽速200 L/S，对应的控制器为Edwa*** EXDC160/Edwa*** EXDC80。

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                   爱德华Edwa*** EXT 70H 80V dc分子泵维修

      Edwa*** EXT 70H 80V 是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵， Edwa*** EXT70H 80V 复合分子泵，是专为超高真空设计的

广州潽拓光电科技有限公司主要从事半导体:(在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备)，，太阳能电池板等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，承接等，为广大客户提供Leybold、Pfeiffer、Alcatel、Agilent(Varian)、BOC Edwa***、Shimadzu、ULVAC、Osaka等分子泵维修技术服务。

涡轮分子泵有真空低能耗，气体输送能力强，循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、***及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。我们承诺对国际一线品片分子泵及其驱动器维修及销售，各类PLC板，人机界面，各型号干泵油泵等维修工作，坚持如下服务：

 1.坚持使用原装进口巴顿陶瓷轴承保证。

 2.坚持使用原装进口密封套件耗件保证

 3.快修服务：7天*24小时，全年365天无休。

 4.原装进口陶瓷珠轴承，分子泵配件销售业务

 5.提供在线高达240000rpm高速动平衡服务

 6.提供完整的[Turn-key]服务

 7.提供真空系统咨询，安装调试，***维修及现场技术支持等完整[Total-Solution]服务