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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合***工学标准的特点。

校准要求

在进行校准前，必须满足如下条件：

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定

inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏

有些器件需要在真空条件下工作，就要将这些器件密封在腔体中，这样腔体中压强要测量，外壳也需要捡漏，并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小，选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中，用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算：漏率Q=V×dp/dt，式中V是腔体体积，dp是在dt时间内压强的变化。

若初始压强为10Pa，存放两天后压强上升到20Pa，体积为2cm3，可算出漏率为1.2×10-10Pa.m3/S。如有漏，可用密封材料堵怀疑有漏的地方,若压强不再变化，说明漏洞就在这个地方。

市电供应困难的环境

测量几万伏高压处的压强，真空计的外壳要接高压火线，可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小，可用电池供电，这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外，由于石英真空计耗电小，不一定要交流220V供电，仅需要9V直流电池供电即可，这样它会在航天事业中获得应用。

▲石英真空计放置高压绝缘柱上

石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移，而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振，可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小，功耗小，精度较高，量程较宽等，因此它将有广泛的应用。

每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求，谱拓公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销，价税合计5000元套。套服包含：数字万用表尺寸的便携式控制板，根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管，也有便捷带上的迷你型行里箱。

精巧又功能齐全的便携式控制板该套服的控制板选用MicroUSB数据线和5号充电电池双电源开关配电，用电瓶配电时可以表明所剩用电量，还能够设定全自动关掉時间来节约用电量，带背光的LED显示器让真空泵读值在太阳底下和黑暗的条件里都清楚可见。

inficon可以设定Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还能够挑选 当然记数或是科学记数法来表明读值。假如你设定一个警报值，它可以在机械泵抽中某一真空值时得出响声提醒，那样就不需要一直盯住真空泵读值了。有工作经验的技术人员通常可以根据剖析压升或是损耗的线条来分辨系统软件是不是***或是分辨常见故障的缘故，inficon控制板可以纪录并表明工作压力曲线图，而且可以依据工作压力的变动立即表明即时的情况：

抽真空（Pump），工作压力在持续降低

平稳（Stable），工作压力不变

放气（Outgas），工作压力在持续升高，但压升率愈来愈小

***（Leak），工作压力在持续升高，但压升率沒有显著的转变

控制板的身后带可收拢的支撑架，可以斜着立在桌面；也有磁石，可以黏住管路，声卡机架，乃至泵的身上。联接规管的螺旋式铜线便捷收纳整理，较长可以拖到2米高。绵软的塑胶保护壳使控制板握感舒服，又耐磨损耐摔。