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     EDWA*** EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwa*** EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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广州潽拓光电科技有限公司维修爱德华全系列分子泵：

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         爱德华Edwa***STP 磁悬浮涡轮分子泵,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwa*** STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏的风险，同时将噪声和振动降至Z低。

        Edwa*** STP 磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有很高的声誉，并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。对于实验室应用，STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠，并且超长时间运行而无需维护。