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广州潽拓光电——涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。

这种泵通常在分子流状态下工作。

分子泵的原理

       分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，后被抽除。

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发展真空技术，助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与核心设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程核心部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，中科科仪积极响应***需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，攻克多项关键技术，于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。安捷伦科技公司分布在40多个***的42,000名员工和设施为***120多个***的市场领*客户提供服务。varian真空分子泵用途

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品牌：阿尔卡特                                 型号：AC-200                                材质：铸铁                                             驱动方式：电动泵                             轴位置：卧式                                叶轮结构：封闭式叶轮

叶轮数目:多级                                   叶轮吸入方式:单吸式                       性能:无***

流量:20（m3/h）                              扬程标准:（m）                             汽蚀余量标准:（m）

轴功率标准:（kW）                            吸入口径标准:（mm）                    排出口径标准:（mm）