pfeiffer分子泵维修***满意的选择「潽拓光电」

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莱宝真空泵油选择与使用指导

一、真空泵油的作用及性能要求

油封式旋转真空泵的泵油，必须符合相关要求。作为一个运动介质，泵油在真空泵中起着以下作用作用：

1.密封——防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封（转子与定子，旋片与转子槽等）

2.润滑——相对运动件间的润滑，降低磨损

3.冷却——油在泵内与油箱间循环，散热，冷却

4.保护——形成保护油膜，避免水及化学蒸汽凝结腐泵内部件。

莱宝真空泵配件耗材：、油雾分离器/油气分离器/排气过滤芯，真空泵叶片，碳晶片，油过滤器/油隔，空气过滤器/空气滤芯/风隔，空气总成，进口真空泵油，散热风扇，风扇叶，风扇罩，油管，油封，轴承，白润轴承，轴承套，进气滤芯，排气阀，排气阀片，逆止阀，逆止阀片，气镇阀，视油镜，密封套件，连轴器，连轴器垫，连轴器防震胶，真空表，压力表，调节阀

行业应用：PCB板业，CCL行业，***T行业，木工行业，印刷行业，光电机械，化工行业。

广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的***设备。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵

分子泵应用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二：Hipace 80，Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数：分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

N2氦气He氢气 H2氮气

N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848> 1X101122< 1X10–71.31.752.4

分子泵应用：

分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体：PVD inspection bonding MBE load-locks

工业：***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造

广州潽拓光电——Bayard-Alpert/Pirani技术

IONIVAC型复合真空机ITR 90

-量程覆盖12个数量级：

-ITR 90真空计复合运用热传导和电离技术

-连续测量范围达 10E-10到 1000mbar

-系统带有显示器可单独使用

-RS-232 C接口